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VUV新闻
6月19日消息，俄罗斯科学院西伯利亚分校布德克尔核物理研究所(INP SB RAS)的专家与俄罗斯科学院加波诺夫 - 格列霍夫应用物理研究所联邦研究中心(IAP RAS)的同事正共同研发一种用于制造明亮稳定的极真空紫外(VUV)光源的方案。这种光源是现代家用光刻机制造下一代微电路所必需的。当前，光刻技术广泛应用于微电子器件生产，可在硅片表面形成尺寸达数纳米的微结构。微电路尺寸缩小趋势对相应技术提出要求，研制超强真空紫外(VUV)辐射源至关重...
2025-06-22
为一种高效的水质净化手段，真空紫外(VUV)技术在水中有机污染物去除方面受到了广泛关注。然而在实际应用过程中，VUV技术在去除目标污染物的同时可能会导致副产物的生成，如过氧化氢(H2O2)和亚硝酸根(NO2-)，对人体产生一定危害。
2021-02-02
